单晶硅超纯水设备工艺要求讲解

1、预处理系统：单晶硅超纯水设备特设了三级预处理系统。特别适合自来水盐度高、硬度大、固体杂质较多、氯含量较高地区的客户，使用极其方便、经济。该设备采用了“层层保护、逐级过滤”的先进设计理念。

3、超纯化设备：采用优质核级树脂抛光混床，使水中离子去除率达到99%。水质电阻率达到18.MΩ.CM以上，满足了半导体、单晶硅等行业的高纯水指标。