氮化硅片的生产加工方法

1、陶瓷片以氮化硅陶瓷片为例，以下统称陶瓷片。

首先、成型工艺按照用户的不同需求开模具，根据批量的不同可选择手动压机或者自动压机进行压制，压制成型后需要经过等静压以提高胚体的强度。

2、其次、烧结。将具有一定强度的胚体按照一定的顺序整齐的码放在石墨匣钵内，然后放入烧结炉内进行烧结，根据烧结工艺的不同，所需的时间也不尽相同。一般24-72小时，均可完成陶瓷片的烧结过程。

3、最后，加工。将烧结好的陶瓷片按照不同用户的需求，经过磨，钻、切割、攻丝等加工，以达到用户需要的尺寸精度以及粗糙度要求。