1、 对于xps图谱包含的信息可以具体分为一下几类：第一，光电子谱线，每种元素都有自己特征的光电子线，它是元素定性分析的主要灞盅何麋依据，如图（1）所示，图谱中强度最大、峰宽最小、对称性最好的谱峰，称为xps的主线谱。第二，卫星峰（也叫伴峰），常规X射线源并非是单色的，而是存在一些能量略高的小伴线，所以导致xps中，除了激发的主谱外，还有一些小的伴峰。如图（2）所示。
2、第三，除了以上信息之外，还包含有俄歇电子谱线，电子电离后，新能及出现空位，弛豫过程中若使另一电子激化成为自由电子，该电子即为俄歇电子。俄歇电子谱线总是伴随着xps，如图（3）所示，但是有比xps更宽更复杂的结构，多以谱线群的方式出现，特征是其动能和入射光hv无关。
