1、过电应力
当瞬态脉冲能量超过TVS管所能承受能量时会引起TVS器件过电应力损伤，特别是当瞬态脉冲能量达到TVS管所能承受能量的数倍时就会直接导致TVS器件过电应力烧毁。过电应力短路失效的TVS芯片在扫描电镜下观察可发现pn结表面边缘的熔融区域或体内硅片的上表面和下表面的黑斑。
2、高温
当TVS管器件工作温度超过其最大允许工作温度时，短路失效通常发生在pn结表面。这是因为在高温条件下工作，表面可动离子的数量大大增加，表面电流也随之增大，表面功率密度和温度比体内高，使pn结边缘结温超过200度，边缘局部区域晶格遭受致命性的损坏。高击穿电压TVS器件更容易发生短路失效。
3、长时间工作损耗
长时间的工作，TVS管的芯片结边缘焊料容易形成金属化合物而脆化，使管芯与底座热沉逐渐分离，结边缘的散热能力降低，工作结温持续增大导致过热烧毁。
