mems激光雷达原理

1、MEMS微镜是指采用光学MEMS技术制造的，把微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起的光学MEMS器件。MEMS微镜的运动方式包括平动和扭转两种机械运动。

3、MEMS激光雷达是单轴、谐振式的MEMS扫描镜，其扫描角度可达60-70°、扫描频率可达数十kHz、镜面尺寸为毫米级、曲率半径为米级、静态镜面平面度优于30nm、动态变形小于50nm。

5、MEMS扫描镜的尺寸很小，其反射镜面直径通常为数毫米，镜面厚度、支撑悬臂梁的厚度/宽度仅为数十微米至数百微米。MEMS扫描镜面采用金属反射薄膜，可以承受的激光功率可达到瓦级以上，因此可以满足信息激光应用的要求。