1、FORCE REF值。范围大致为-1.0mm左右。它表明探针与试样表面极微弱作用力大小。如果是正值，探针向试样靠近不能结束；如果为负值，而且绝对值比较大，就有可能损坏cantilever和试样。所以，force ref值是扫描过程中能否成像的最重要参数之一。
2、扫描速度。通常扫描速度由扫描面积大小决定。面积大，试样的微观粗糙度就大，如果扫描速度快，探针快速移动来不及反馈响应信号，造成试样出现拖尾现象。
3、I/P gain值。这个值重要是跟踪试样表面凹凸反馈。I gain值大致为0.3左右，如果试样凹凸大（剞麽苍足数百nm以上），要设定为大值；凹凸小（数十nm以下），设定为小值，约0.1左右。数值过小时，靠近approach不能正常结束。数值过大时，又有可能出现震荡。P gain值约0.08左右，不要大于I gain的（1/2），如果过大则会出现震荡。
6、另外，有的样品也需要进行预处理。如果在显微镜下发现样品有污染或不平整，要重新制样。试样的水平和高度接近针尖的任何一个极限，所获得的图象效果会很差，而且针尖容易被破坏和磨损。
